凹凸在线无码免费视频,国产蜜臀精品一区二区三区,久久久久久亚洲精品专区,日韩欧美亚洲中文字幕在线

咨詢熱線

400-000-0910

當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  無掩膜光刻是一種怎么樣的技術(shù)呢?

無掩膜光刻是一種怎么樣的技術(shù)呢?

更新時(shí)間:2022-07-25      點(diǎn)擊次數(shù):2566
  隨著工藝制程的逐漸提升,EUV以及高NA EUV光刻機(jī)的出現(xiàn),對(duì)于掩膜帶來了新的挑戰(zhàn)。掩模缺陷的影響將越來越大,這表明掩模設(shè)計(jì)規(guī)則需要變得更加嚴(yán)格。
  因此,為了實(shí)現(xiàn)更加靈活的光刻過程,業(yè)界開始研究用其他的東西取代物理掩膜,甚至干脆不使用掩膜進(jìn)行加工,這樣的方法稱為“無掩膜光刻”。
  直寫光刻也稱無掩膜光刻,是指計(jì)算機(jī)控制的高精度光束聚焦投影至涂覆有感光材料的基材表面上,無需掩膜直接進(jìn)行掃描曝光。
  直寫光刻根據(jù)輻射源的不同大致可進(jìn)一步分為兩大主要類型:一種是基于帶電粒子的直寫光刻(CPML),包括電子束直寫、離子束直寫等;另一種是基于光學(xué)的直寫光刻(OML),包括干涉光刻、激光直寫光刻,以及基于空間光調(diào)節(jié)器的光刻技術(shù)等。
  使用可編程控制的SLM器件直接對(duì)照明光束進(jìn)行調(diào)制,形成不同的圖形直接投影在襯底上完成曝光,相當(dāng)于將實(shí)體的掩膜版數(shù)字化,稱為基于SLM的數(shù)字光刻技術(shù)。
  無掩膜光刻是一種能將光的空間分布進(jìn)行調(diào)制的微型器件,由很多微小單元呈線型或方陣排列而成。這些單元通過計(jì)算機(jī)編程控制,便捷的將圖形掩膜數(shù)字化,通過編程靈活性的改變掩膜形狀,替代了傳統(tǒng)光刻使用的“物理掩膜版”,從而避免了傳統(tǒng)光刻系統(tǒng)掩膜版制造復(fù)雜昂貴、靈活性差等問題。
  無掩膜光刻在泛半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中,直寫光刻與掩膜光刻應(yīng)用的細(xì)分市場(chǎng)所要求的光刻精度(最小線寬)具有明顯差別。

魯公網(wǎng)安備 37069302000947號(hào)

—级v免费大片欧美| 藏经阁91福利私人试看| 亚洲综合极品香蕉久久网| 狗狗大鸡巴狂操美女| 国产精品一区二区在线观看91| 日本免费暖暖在线小视频| 精品区在线导航视频观看| 国产熟女视频一区二区三区| 丁香婷婷色婷婷粗大| 大鸡巴抽插小穴色虐视频| 色熟妇人妻久久中文字幕| 欧美亚洲综合一区二区三区| 在线 中文字幕 第一页| 普通话大屌操小穴| 国产一区精品在线| 亚洲一区二区三区精品日韩| 九九热在线精品免费看| 精品一区二区三区乱码中文字幕| 亚洲 欧美 日韩 主播| 精品福利一区二区三区在线观看| 啊啊好想被大鸡巴操视频| 大黑屌后入骚妇屁股| 美女日比视频播放| 影音先锋亚洲中文综合网| 国产一区二区三区免费观在线| 日本潘金莲三级bd高清| 99久久99久久精品视频| 国产剧情使劲操我逼| 婷婷6月天丁香综合在线| 日本免费一区二区在线| 久久久精品欧美一区二区三免费| 2021最新热播国产一区二区| 亚洲天堂av一区二区在线观看| 啊啊不要你那痛死爽死了直播一区| 中文字幕人妻一区二区三区久久| 在线免费看污视频| 看一下日本人插逼逼洞视频| 国产乱精品一区二区三区视频了| 黄色高清带三级1集2集| 色噜噜在线一区二区三区| 国产午夜福利片无码视频|